保定微型真空泵公司常用指南 凯德金

楼主:凯德金科技  时间:2022-01-15 05:31:41
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真空泵正确组合

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

真空泵如何调节供水量

随着真空泵的使用率愈来愈广泛,在设备使用全过程中挑选合适的操作方式,才可以达到更强的使用效果,为了更好的应用,下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。

当水环真空泵启动操作的整个过程中,可以说是不断供水,使其压力平衡,并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准供水量,节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后,适当打开供水阀,然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度,当真空表指针开始波动或下降时,这时的供水量已经不够,重新慢慢打开供水阀门,当真空表指针重新稳定时,这时的供水量为标准供水。

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