磁控溅射设备报价信息推荐「沈阳鹏程」

楼主:沈阳鹏程  时间:2021-09-24 13:16:53
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磁控溅射设备报价信息推荐「沈阳鹏程」[沈阳鹏程c8b0940]

小型磁控溅射仪的优势

设备主要优势    

实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;

方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;

高性价比:设备主要零部件采用进口或国内品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;

安全性:独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;

期望大家在选购磁控溅射产品时多一份细心,少一份浮躁,不要错过细节疑问。想要了解更多磁控溅射产品的相关资讯,欢迎拨打图片上的热线电话!!!

磁控溅射镀膜机的工作原理是什么?

磁控溅射原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与原子发生碰撞,电离出大量的离子和电子,电子飞向基片。离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与原子发生碰撞电离出大量的离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,沉积在基片上。磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。电子的归宿不仅仅是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿。但一般基片与真空室及阳极在同一电势。磁场与电场的交互作用( E X B drift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。至于靶面圆周型的溅射轮廓,那是靶源磁场磁力线呈圆周形状形状。磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子。磁力线分布方向不同会对成膜有很大关系。在E X B shift机理下工作的不光磁控溅射,多弧镀靶源,离子源,等离子源等都在次原理下工作。所不同的是电场方向,电压电流大小而已

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年磁控溅射产品行业经验,专注磁控溅射产品研发定制与生产,先进的磁控溅射产品生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!

磁控溅射镀膜机导致不均匀因素哪些?

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原理上讲,两点:气场和磁场

磁控溅射在0.4Pa的气压情况下离子撞击靶材,溅射出粒子沉积到基材上,整体靶材的电压几乎一致,不影响溅射速率。

0.4Pa的气场情况是溅射速率较高的情况,气场变化,压强变大和变小都会影响溅射速率。

磁场大,束缚的自由电子增多,溅射速率增大,磁场小,束缚的自由电子就少,溅射速率降低。

稳定住气场和磁场,溅射速率也将随之稳定。

在实际情况下,气场稳定,需要设计布气系统,将布气系统分级布置,保障镀膜机腔体内不同位置的进气量相同,同时,布气系统、靶材、基材等要远离镀膜机的抽气口。需要稳定磁场,用高斯计测量靶材表面磁场强度,由于磁场线本身是闭合曲线,靶材磁场回路两端磁场强度自然比中间位置强,可以选择用弱磁铁,同时,基材要避开无法调整的磁场变化较大的部分。抽气机组及阀门、管道1套,包含1台进口复合分子泵及变频控制电源(680L/s,德国普发Hipace700分子泵)。

另外,在设备结构设计方面,磁控溅射过程中,需要基材与靶材保持同轴,如果旋转、直线运行的话,也要同轴旋转、直线运行。

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